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AMAT EPI Centura
Equipment
Upgrade & Replacement
Parts/Assemblies
AMAT EPI CENTURA HTF 5200
Refurbished
Retrofit Upgrades
Specification
Model
EPI Centura HTF5200
Process
EPITAXIAL SILICON (5,6,8”)
Pressure Condition
ATM, RP
Manufacturer
USA AMAT
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